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INFICON分析儀
名稱:  INFICON分析儀
型號(hào):  TRANSPECTOR MPH
品牌:  INFICON
產(chǎn)地:  瑞士
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發(fā)布時(shí)間:  2021-07-09
瀏覽次數(shù):  399
產(chǎn)品詳情

INFICON是創(chuàng)新儀器、關(guān)鍵傳感器技術(shù)和智能制造/工業(yè)4.0軟件解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商,可提高工具、流程和完整工廠的生產(chǎn)力和質(zhì)量。這些分析、測(cè)量和控制產(chǎn)品對(duì)于空調(diào)/制冷和汽車制造中的氣體泄漏檢測(cè)至關(guān)重要。在用于光學(xué)器件、平板顯示器、太陽(yáng)能電池和工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用的半導(dǎo)體和薄膜鍍膜的復(fù)雜制造過(guò)程中,它們對(duì)設(shè)備制造商和最終用戶至關(guān)重要。他們真空工藝的其他用戶包括生命科學(xué)、研究、航空航天、包裝、熱處理、激光切割和許多其他工業(yè)工藝。他們還利用他們?cè)谡婵占夹g(shù)方面的專業(yè)知識(shí),為應(yīng)急響應(yīng)、安保和環(huán)境健康與安全提供獨(dú)特的有毒化學(xué)分析產(chǎn)品。以下就是我們?nèi)A聯(lián)歐國(guó)際貿(mào)易有限公司為您提供的INFICON分析儀,瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品特點(diǎn)相關(guān)內(nèi)容和信息。我們歡迎廣大客戶監(jiān)督,提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,完善的服務(wù)是我們的宗旨。歡迎廣大用戶來(lái)電咨詢!

1、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品介紹
不斷上漲的硅晶片價(jià)格和成品需求意味著報(bào)廢晶片的成本比以往任何時(shí)候都高。因此,了解您的工藝并監(jiān)控缺陷已成為半導(dǎo)體制造中心的重中之重。Transpector MPH氣體分析系統(tǒng)旨在為您的所有氣體分析應(yīng)用提供行業(yè)領(lǐng)先的性能,以幫助最大限度地提高芯片產(chǎn)量并最大限度地減少工具停機(jī)時(shí)間。結(jié)合較低的總體擁有成本和較高的平均故障間隔時(shí)間,Transpector MPH比市場(chǎng)上任何其他殘留氣體分析儀(RGA)更能幫助您實(shí)現(xiàn)盈利。INFICON利用其在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備方面的專業(yè)知識(shí),創(chuàng)建了具有行業(yè)領(lǐng)先數(shù)據(jù)收集速度、最小可檢測(cè)分壓和信噪比的RGA。所有這些都不會(huì)犧牲您對(duì)INFICON Transpector氣體分析儀所期望的任何可靠性。

2、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品概述
隨著制造技術(shù)的進(jìn)步和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的變化,了解您的過(guò)程和保持產(chǎn)品質(zhì)量的需求比以往任何時(shí)候都更加重要。Transpector MPS可以通過(guò)監(jiān)控過(guò)程條件、檢測(cè)污染物和檢查泄漏來(lái)幫助您優(yōu)化過(guò)程。Transpector MPS以卓越的價(jià)值為他們的客戶提供Transpector品牌RGA的強(qiáng)大性能。Transpector MPS有100 amu和200 amu兩種版本,可讓您靈活地執(zhí)行各種功能,包括常規(guī)泄漏檢測(cè)、真空診斷和碳?xì)浠衔锓治?。這種多功能性Transpector MPS成為真空爐、熱處理和真空鍍膜應(yīng)用的首選傳感器。

3、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品特征
新型Transpector XPR 3+殘留氣體分析儀(RGA)提供行業(yè)領(lǐng)先的測(cè)量速度,以監(jiān)測(cè)和控制現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示器制造所需的快速過(guò)程變化。Transpector XPR 3+是現(xiàn)場(chǎng)漏氣、氣體純度、碳?xì)浠衔锖臀廴颈O(jiān)測(cè)的理想選擇。與定期上升率測(cè)試相比,使用Transpector XPR 3+進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量可提供遠(yuǎn)超卓著的產(chǎn)品保護(hù)。Transpector XPR 3+RGA是經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的四極桿和雙離子源傳感器,適用于濺射壓力范圍應(yīng)用。無(wú)需壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備、使用壽命長(zhǎng)的組件以及快速檢測(cè)和診斷問(wèn)題的能力相結(jié)合,可最大限度地提高工具可用性、產(chǎn)品產(chǎn)量和產(chǎn)量。該傳感器可以從高真空到20 mTorr連續(xù)運(yùn)行,無(wú)需泵。Transpector XPR 3+雙離子源腔室旨在限制涂層以保持離子源靈敏度并延長(zhǎng)傳感器的平均維護(hù)時(shí)間。
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4、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品原理
十多年來(lái),INFICON Transpector CPM一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)領(lǐng)先的殘留氣體分析儀(RGA)過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)?,F(xiàn)在Transpector CPM 3通過(guò)與新傳感器和電子設(shè)備集成的經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的泵和入口系統(tǒng)提供行業(yè)領(lǐng)先的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector CPM 3是適用于ALD、CVD、PVD和蝕刻等新型和成熟半導(dǎo)體工藝的理想RGA工藝監(jiān)控器。INFICON Transpector®單壓采樣(SPS)殘留氣體分析儀為目標(biāo)高壓工藝提供最佳的半晶圓和顯示面板保護(hù)。Transpector SPS通過(guò)對(duì)單壓力應(yīng)用最靈敏的漏氣和工藝污染檢測(cè)來(lái)最大限度地減少晶圓和面板廢料。它提供行業(yè)領(lǐng)先的檢測(cè)限和測(cè)量速度,以確保晶圓和面板的質(zhì)量和數(shù)量。Transpector SPS通過(guò)為穩(wěn)定的高壓過(guò)程提供最可靠的過(guò)程監(jiān)控來(lái)最大化過(guò)程吞吐量和產(chǎn)量。

5、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
儀器將簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)高效的入口系統(tǒng)與經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的離子源和泵組相結(jié)合,提供低風(fēng)險(xiǎn)和高回報(bào)的氣體分析解決方案。適用于一般真空和工業(yè)應(yīng)用,Transpector SPS是真空電弧重熔(VAR)等冶金和熱處理應(yīng)用的成熟解決方案。Transpector SPS是可配置的,可以根據(jù)特定應(yīng)用和預(yù)算進(jìn)行定制。對(duì)于從1E-4 Torr到大氣壓的采樣過(guò)程壓力,可選擇標(biāo)準(zhǔn)孔板、毛細(xì)管和旁路管線組合。耐腐蝕的入口、離子源和泵組件專為在蝕刻、CVD、ALD和其他腐蝕性氣體工藝中的生存而設(shè)計(jì)。

6、瑞士INFICON分析儀部分產(chǎn)品型號(hào)
①瑞士INFICONTranspectorMPH
②瑞士INFICONTranspector MPS
③瑞士INFICONTranspectorXPR 3+
④瑞士INFICONTranspectorCPM 3
⑤瑞士INFICONTranspectorSPS
⑥瑞士INFICONTranspectorCPM
⑦瑞士INFICONQMG 700
⑧瑞士INFICONInficon Quantus LP100

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